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遠程等離子體活性自由基源

RPS-100遠程等離子體活性自由基源，產生高密度低能量等離子體，適配多種氣體，適合用于遠程大面積精密設備及襯底的表面清理、表面活化、表面改性等。


規格參數
安裝法蘭CF40
工作氣壓10-4– 10-1 mbar
最大功率100W
等離子體密度

1016 m-3

處理樣品尺寸≤4inch


測試圖

資源 4xxhdpi.png1736923833460302.png

標簽： 超高真空MBE
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