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核心技術

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等離子技術


提高等離子的發(fā)生效率和功率,為小型化及工業(yè)應用做準備;紫外光源前期將面對科研的光譜和質譜用戶,后期將瞄準光刻等高端需求,離子源將作為工業(yè)化用途,完成對目前離子源技術的替代。


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