費勉BL1200S 是一款經過特殊設計的高亮度多氣體混合的真空紫外光源，包含差分腔體，一個單色腔體，一個多濾片變換裝置，一個將聚焦毛細管與差分腔體隔離的閘板閥，能夠使用多種工作氣體（He, Ne, Ar, Kr, Xe...），滿足小光斑，氣壓增量小的要求。
| ● 可伸縮調節機制 | ● 75mm行程線性驅動 | ● 角度調節機制：傾角范圍：±3° |
| ● 固態射頻電源，射頻線纜 | ● 強制風冷和水冷 | ● 兼容超高真空，全金屬密封 |
| 氣體 | 能量 (eV) | 波長(nm) | 電流 (nA) | 光子數 Photons/s |
| He | 21.2 (He I) | 58.5 | 33.8 | 1.56E12 |
| He | 40.83 (He II） | 30.37 | 1.0 | 1.04E11 |
| Ne | 16.85 | 73.59 | 11 | 4.43E11 |
| Ar | 11.83 | 104.82 | 7.5 | 4.96E11 |
| Kr | 10.03 | 123.58 | 2.4 | 7.5E11 |
| ?Xe | 8.43 | 146.96 | 1.5 | 9.3E13 |
| HeI | HeII | Ne | Ar | Kr | Ar | |
| η | 13.5% | 6% | 15.5% | 9.5% | 2% | 0.01% |
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