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EN 021-6525 3206

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大面積等離子體源

PS大面積等離子體源，適配多種氣體，適合用于大面積基片的刻蝕、表面清理、表面活化、表面改性、輔助沉積等。


規格說明
型號PS100PS200
安裝法蘭CF200CF250
工作氣壓

10-4– 10-1 mbar

10-4– 10-1 mbar

最大功率1000W3000W
等離子體密度

1017 m-3

1017 m-3

處理樣品尺寸≤4inch≤8inch


標簽： 超高真空MBE
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