SWPS-100射頻等離子體源使用433MHz固態射頻電源驅動，可產生高密度等離子體及自由基，無反射功率，無附加阻抗匹配系統。
| ● 固態微波源頻率可變，平衡微波源和等離子體源之間的不匹配，拓展使用范圍 | ● 固態微波源可控制向等離子體傳輸的功率 | ● 多氣體適用（H2、N2、O2、CH4、稀有氣體等） |
| ● 體積小，可多個等離子體源同時配置，得到更大等離子體密度 | ● 適用于自由基產生、表面活化、表面處理、蝕刻等 |
| 安裝法蘭 | CF40 |
| 工作氣壓 | 10-4 - 100mbar |
| 最大功率 | 200W |
| 等離子體密度 | 1016 m-3 |
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