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MBE高溫樣品架-5軸

5軸MBE高溫樣品架可提供樣品在X、Y、Z三個方向的平動和繞Z軸的旋轉角R1(Polar)、面內旋轉角R3(Azimuthal)。其中,X、Y、Z、R1通過XYZ-R1真空位移臺實現, R3通過樣品架頭的齒輪傳動機構實現。獨特的燈絲加熱結構,保證樣品托溫度可達1200K。整個樣品操縱系統主要包括樣品桿、溫度控制系統、XYZ-R1位移臺三部分組成。整個樣品架及位移臺均使用無磁材料,可以在超高真空下使用。

● 樣品托最高溫:1200K (輻射加熱), 1500K(電子束加熱);
● 多自由度: X、Y、Z、R1、R3五個自由度運動;
● 精準控溫:PID控溫精度可達±0.1K;
● 兼容多種功能模塊;

規格說明
R1軸向旋轉
±179°
X/Y 行程
±12.5mm
Z 行程
最大 300 mm
面內旋轉360°
相關配件
●  液氮冷卻模塊●  E-beam加熱
●  高低溫熱隔離模塊●  紅外測溫組件
升溫測試曲線圖

n24.png

標簽: 超高真空MBE
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