4軸MBE高溫樣品架可提供樣品在X、Y、Z三個(gè)方向的平動(dòng)和繞Z軸的旋轉(zhuǎn)角R1(Polar)。獨(dú)特的燈絲加熱結(jié)構(gòu)，保證樣品托溫度可達(dá)1200K。主要由樣品桿、溫度控制系統(tǒng)、XYZ-R1位移臺(tái)三部分組成。整個(gè)樣品架及位移臺(tái)均使用無(wú)磁材料，可以在超高真空下使用。
| ● 樣品托最高溫：1200K （輻射加熱）， 1500K（選配電子束加熱）； | ● 多自由度： X、Y、Z、R1四個(gè)自由度運(yùn)動(dòng)； |
| ● 精準(zhǔn)控溫：PID控溫精度可達(dá)±0.1K； | ● 兼容多種功能模塊； |
| R1軸向旋轉(zhuǎn) | ±179° |
| X/Y 行程 | ±12.5mm |
| Z 行程 | 最大 300 mm |
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