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MBE高溫樣品架-5軸

5軸MBE高溫樣品架可提供樣品在X、Y、Z三個(gè)方向的平動(dòng)和繞Z軸的旋轉(zhuǎn)角R1(Polar)、面內(nèi)旋轉(zhuǎn)角R3(Azimuthal)。其中,X、Y、Z、R1通過XYZ-R1真空位移臺(tái)實(shí)現(xiàn), R3通過樣品架頭的齒輪傳動(dòng)機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)。獨(dú)特的燈絲加熱結(jié)構(gòu),保證樣品托溫度可達(dá)1200K。整個(gè)樣品操縱系統(tǒng)主要包括樣品桿、溫度控制系統(tǒng)、XYZ-R1位移臺(tái)三部分組成。整個(gè)樣品架及位移臺(tái)均使用無磁材料,可以在超高真空下使用。

技術(shù)規(guī)格
● 樣品托最高溫:1200K (輻射加熱), 1500K(電子束加熱);● 多自由度: X、Y、Z、R1、R3五個(gè)自由度運(yùn)動(dòng);
● 精準(zhǔn)控溫:PID控溫精度可達(dá)±0.1K;● 兼容多種功能模塊;

R1軸向旋轉(zhuǎn)±179°
X/Y 行程±12.5mm
Z 行程最大 300 mm
面內(nèi)旋轉(zhuǎn)360°
升溫測試曲線圖

標(biāo)簽: 超高真空MBE
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