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EN 021-6525 3206

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高精度差分旋轉驅動

高精度差分旋轉驅動通過使用交叉滾子軸承,提高了旋轉驅動的精度和剛度。此外,它還配備了光電編碼器,通過伺服電機驅動蝸輪蝸桿,再由光電編碼器進行閉環控制,實現組件在超高真空環境里的旋轉運動。它旋轉角度為±175°,適用于高精度和高負載的應用場合。

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規格說明
  適用于10-11 mbar超高真空環境  一級差分實現超高真空性能  烘烤溫度:120°C
  旋轉范圍±175°  采用伺服馬達驅動  上端安裝法蘭:CF法蘭,螺紋孔
  下端安裝法蘭CF法蘭,螺紋孔  閉環控制  光柵尺分辨率:≤0.0001° 
  可承受大負載>2000kg


品名高精度差分旋轉驅動(HDPRF)
安裝法蘭CF150
法蘭

尺寸

毫米203
英寸8.0
旋轉角度±175°
A (mm)338
B (mm)288
C (mm)104
D (mm)102
E  (mm)90
驅動伺服電機
重量 (kg)29.2
型號
HDPRF150AP
XY驅動3040400008



產品尺寸

資源 4@2x.png

標簽: 超高真空MBE
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