中空磁耦合旋轉驅動采用磁耦合驅動，其內部具有一個可以旋轉的中空軸，既能提供平穩的旋轉運動，還能允許電、流體或其他物質通過內部的中空軸。它具備高負載、高扭矩、高轉速等特點。
| ● 驅動方式：磁耦合 | ● 適用于10-11 mbar超高真空環境 | ● 烘烤溫度：150°C（移除電機及其組件） |
| ● 旋轉范圍：360°（可連續旋轉） | ● 材質：超高真空兼容材料 | ● 上端安裝法蘭：CF法蘭，螺紋孔 |
| ● 下端安裝法蘭：CF法蘭，通孔 | ● 可接受定制 |
| 品名 | 中空磁耦合旋轉驅動（HSR） | ||||
| 安裝法蘭 | CF35 | CF63 | |||
| 法蘭 尺寸 | 毫米 | 70 | 114 | ||
| 英寸 | 2.75 | 4.5 | |||
| 旋轉角度 | 360° | 360° | |||
| 最大脫耦力矩 | 6N·m | 15N·m | |||
| 驅動 | 手動 | 步進電機 | 手動 | 步進電機 | |
| 分辨率 | 1° | 0.01° | 1° | 0.001° | |
| 重量 (kg) | 3.0 | 5.0 | 6.9 | 8.0 | |
| 型號 | HSR35M | HSR35A | HSR63M | HSR63A | |
| 訂購編碼 | 3040100001 | 3040100002 | 3040100003 | 3040100004 | |
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