全尺寸三維平移臺能夠?qū)崿F(xiàn)組件的真空內(nèi)部分在XYZ軸方向的運(yùn)動。X/Y方向采用交叉滾子和滾珠絲桿結(jié)構(gòu)，驅(qū)動方式為步進(jìn)電機(jī)+手輪。Z方向采用光軸和滾珠絲桿組合的運(yùn)動結(jié)構(gòu)，并有自鎖功能，驅(qū)動方式為步進(jìn)電機(jī)。結(jié)構(gòu)穩(wěn)固，高負(fù)載，精度高。
| ● 壓力范圍：1bar~10-11mbar | ● 烘烤溫度：150℃ (移除電機(jī)及其組件) | ● 焊接波紋管材質(zhì)：SS316L |
| ● 通徑：102mm | ● 上端安裝法蘭：CF100法蘭，通孔 | ● 下端安裝法蘭：CF150法蘭，螺紋孔 |
| ● X/Y驅(qū)動：步進(jìn)電機(jī) (分辨率≤1μm，精度≤10μm) +手輪 | ● Z驅(qū)動：步進(jìn)電機(jī) (分辨率≤1μm，精度≤10μm) | ● 可接受定制 |
| 品名 | 全尺寸三維平移臺（CFXYZ） | |||
| 上端移動法蘭 | CF100 | |||
| 法蘭 尺寸 | 毫米 | 152 | ||
| 英寸 | 6.0 | |||
| 下端安裝法蘭 | CF150 | |||
| 法蘭 尺寸 | 毫米 | 203 | ||
| 英寸 | 8.0 | |||
| XY行程 (mm) | ±12.5 | |||
| Z行程 (mm) | 200 | 350 | 500 | |
| A拉伸 (mm) | 508 | 658 | 808 | |
| B壓縮 (mm) | 308 | 308 | 308 | |
| C (mm) | 565 | 715 | 865 | |
| Z驅(qū)動 | 步進(jìn)電機(jī) | |||
| XY驅(qū)動 | 手輪+步進(jìn)電機(jī) | |||
| 型號 | CFXYZ150Z200M-1083 | CFXYZ150Z350M-1083 | CFXYZ150Z500M-1083 | |
| 訂購編碼 | 3042310009 | 3042310017 | 3042310025 | |
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