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集成多濾波片快速切換裝置

費勉設計一款多濾片快速切換裝置,在腔體真空度不變的情況下能夠使多種工作氣體(He, Ne, Ar, Kr, Xe...)滿足多光子能量輸出的需求。

規格說明
匹配BL1010s和BL1200s系列真空紫外光源特殊設計的多濾波片快速切換結構,包含4個濾波片
● 在一個VUV光源中兼容He、Ne、Ar、Kr和Xe● 更換便捷,無需破壞主腔真空


氣體能量 (ev)波長(nm)電流(nA)光子數photons/s
He21.258.533.81.56e12
Ne16.8573.59114.43e11
Ar11.83104.827.54.96e11
Kr10.03123.582.47.5e11
Xe8.43146.961.59.3e13


標簽: 超高真空MBE
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