費勉BL-1100S 是一款經過特殊設計的高亮度多氣體混合的真空紫外光源,包含差分腔體,一個單色腔體,一個將聚焦毛細管與差分腔體隔離的閘板閥,能夠使用多種工作氣體(He, Xe),滿足小光斑,氣壓增量小的要求。
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