直線伸縮驅動通過真空外的旋轉運動轉換為真空內的高精度的直線伸縮運動。采用SS316L材料焊接的波紋管密封，可適用于10-11mbar的超高真空環境，操作平穩，精度高。
| ● 壓力范圍：1bar~10-11mbar | ● 最高烘烤溫度：150℃ | ● 焊接波紋管材質：SS316L |
| ● 安裝法蘭：CF16法蘭、通孔 | ● 可接受定制 | ● 任意方向均可安裝 |
| 品名 | 直線伸縮驅動（LM） | ||||||
| 安裝法蘭 | CF16 | ||||||
| 法蘭 尺寸 | 毫米 | 34 | |||||
| 英寸 | 1.33 | ||||||
| 行程(mm) | 25 | 50 | 100 | ||||
| A拉伸(mm) | 61 | 86 | 136 | ||||
| A壓縮(mm) | 36 | 36 | 36 | ||||
| B(mm) | 160 | 250 | 204 | 294 | 295 | 385 | |
| 驅動 | 手動 | 步進電機 | 手動 | 步進電機 | 手動 | 步進電機 | |
| 分辨率 | 0.01 | 0.005 | 0.01 | 0.005 | 0.01 | 0.005 | |
| 重量(kg) | 0.75 | 0.95 | 0.85 | 1 | 0.95 | 1.15 | |
| 型號 | LM16L25M | LM16L25A | LM16L50M | LM16L50A | LM16L100M | LM16L100A | |
| 訂購編碼 | 3041400002 | 3041400003 | 3041400004 | 3041400005 | 3041400007 | 3041400008 | |
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