三溫區裂解源由蒸發區、通道區、裂解區三個溫區組成，各溫區獨立控溫。蒸發區工作溫度范圍為100°C~650°C，裂解區溫度最高可達1300°C。
適用于高飽和蒸氣壓材料，如As、Se、Sb、Te、Mg等，可使團簇充分受熱裂解。
| 各溫區溫度波動≤0.1% | 分段式水冷及隔溫設計 |
| 相鄰溫區無輻射干擾 | 組合式坩堝設計，擁有長尺寸坩堝出口使團簇充分受熱裂解 |
| 三溫區 裂解源 | 模塊描述 | 配置參數 |
| 型號 | E38TC | |
| 尺寸 | 安裝法蘭 | DN38CF |
| 真空內長度 | 220mm | |
| 真空內外徑 | 35mm | |
| 工作距離 | 200-300mm | |
| 坩堝 | 坩堝容量 | 50cc |
| 坩堝材質 | PBN | |
| 溫度 | 熱偶類型 | C型(頂部) )、K型(中部) 、K型(底部) |
| 最高工作溫度 | 1300℃ (頂部) 、750℃(中部)、650℃(底部) | |
| 溫度穩定性 | ≤0.1%，取決于PID溫控器 | |
| 最高除氣溫度 | 1350℃ (頂部) 、800℃(中部) 、700℃(底部) | |
最高烘烤溫 | 250℃ |
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