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技術(shù)規(guī)格
● 加熱器材料：SIC；● 樣品托最高溫：1200K；● 兩自由度：Z和R1；● 精準(zhǔn)控溫：PID控溫精度可達(dá)±0.1K；
● 兼容掩膜板（MASK）；● 重復(fù)定位精度：2μm；● 旋轉(zhuǎn)角度: 0°，90°，180°，270°

R1軸向旋轉(zhuǎn)360°
Z 行程75mm
標(biāo)簽： 超高真空MBE
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