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MBE-300 分子束外延系統(tǒng)

MBE 300 主要采用氬弧焊加工的圓柱形316不銹鋼腔體,腔體頂部法蘭尺寸為CF250,最多可安裝9個(gè)束源爐,能根據(jù)用戶需求安裝多坩堝的磁偏轉(zhuǎn)電子束,適用于小尺寸(匹配旗形樣品托)樣品生長(zhǎng)。

產(chǎn)品特點(diǎn)
● 一套成熟、穩(wěn)定、性價(jià)比高的系統(tǒng)● 模塊化設(shè)計(jì),爐源、泵組、其他部件靈活搭配,適合不同需求● 既能作為獨(dú)立的系統(tǒng),也可與其他超高真空系統(tǒng)互聯(lián)



                                                                                                                                                                                                                                               
產(chǎn)品參數(shù)
MBE 300模塊描述配置參數(shù)
生長(zhǎng)室
腔體
腔體材料SS316
腔體尺寸200mm I.D
烘烤溫度Max.200℃
本底真空< 5×10-10 mbar
抽氣系統(tǒng)450L/s分子泵+10m3/h機(jī)械泵
真空測(cè)量系統(tǒng)離子規(guī)+Pirani規(guī)
液氮冷屏選配
離子泵選配
樣品架樣品尺寸Flag-type樣品托
襯底加熱方式輻射加熱
襯底加熱器溫度室溫-1200K
電子束加熱選配
直流加熱
選配
液氮制冷模塊選配
部件蒸發(fā)源配置4xDN40CF, 4xDN63CF, 1xDN100CF
獨(dú)立的蒸發(fā)源擋板氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)
QCM標(biāo)配
RHEED15KeV-30KeV
Ion Source選配
RGA選配

快速進(jìn)樣室
腔體腔體材料SS316
烘烤溫度Max.200℃
本底真空<5×10-8 mbar
抽氣系統(tǒng)80L/s分子泵+10m3/h機(jī)械泵
真空測(cè)量系統(tǒng)全量程規(guī)
部件樣品停放臺(tái)6或12工位
系統(tǒng)集成及控制GUIDE軟件標(biāo)配
烘烤系統(tǒng)標(biāo)配
系統(tǒng)支架標(biāo)配
真空照明系統(tǒng)選配
等離子清洗選配
CCD相機(jī)選配



標(biāo)簽: 超高真空MBE
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