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液化型高純臭氧系統

● 全金屬密封臭氧液化池
● 無硅膠吸附劑
● 閉循環制冷機自動控溫
● 提純速度快,準備時間只需30分鐘;提純1小時,能產出約4標升高純臭氧氣體,可滿足大部分用戶十小時以上的生長需求
● 設計緊湊,尺寸 400*700*1200mm(高)
● 操作簡便,即起即停
● 高純臭氧應用領域:化學氣相沉積(CVD),原子層沉積(ALD),氧化物生長,表面處理,粒子清潔,光刻膠去除,灰化等。

測試曲線圖
——————   實測飽和蒸汽壓數據   ————————————    臭氧輸出束流的穩定性和持續性   ——————


——————   注入腔氣壓與液化池溫度關系   ——————

標簽: 超高真空MBE
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