標準蒸發源拆裝操作

蒸發源的安裝環境分為兩種情況，一種是蒸發源裝在腔體內，另一種是蒸發源裝在外置水冷套內。在自帶擋板的腔體內與外置水冷套內安裝需要把蒸發源擋板拆除，如果腔體內不帶擋板則操作步驟如下（以費勉儀器標準中溫蒸發源安裝操作為例）：

蒸發源裝腔操作

第一步：準備以下材料以及工具

① CF35銅墊圈,1個

② 不銹鋼內六角螺絲（螺絲長度視安裝法蘭而定），6個

③ ?6mm平墊,6個

④ CF35板狀螺帽,2個（視安裝法蘭而定）

⑤ 蒸發源，1個

⑥ 蒸發源支架，1個

工具：

① 無塵手套

② 無水酒精

③ 超凈布

④ 5mm內六角扳手

⑤ 無塵服

第二步：安全檢查，確保腔體已經停止抽真空，并采用高純氮恢復到大氣壓，確認腔體內的材料無毒無害；

第三步：穿戴無塵服、無塵手套，先把磁耦合旋轉驅動上的鎖緊螺絲擰松，再將磁耦合旋轉驅動旋轉至0度并把鎖緊螺絲鎖緊（即擋板處于關閉位置），確保不會與腔體內壁發生干涉；

第四步：使用超凈布蘸取酒精擦拭蒸發源刀口和銅墊圈并目視檢查無瑕疵，將銅墊圈放在蒸發源法蘭刀口或者安裝法蘭刀口上（面向上者）；

第五步：使用超凈布蘸取酒精擦拭法蘭刀口，并小心地將蒸發源插入腔體，確保蒸發源真空外部件不與其他物體干涉；

*在第四步和第五步中，必須檢查密封刀口及銅墊圈是否完好無劃傷，如果有異常則必須停止安裝。

第六步：檢查水冷的方向。必要時，旋轉蒸發源以確保出水口處于較高位置。（即正立安裝，低進高出；倒立安裝，高進低出）；

第七步：輕微的來回轉動蒸發源法蘭，確保銅墊圈與法蘭吻合，并使上下兩個法蘭通孔對位；

第八步：將帶有墊片的不銹鋼內六角螺絲插入通孔內，同時另外一側用板狀螺帽(或者M6螺母)固定，螺絲擰入板狀螺帽中(或者M6螺母)，交叉擰緊螺絲；用合適的松緊程度將每個螺絲順時針每次擰1/4或者1/2圈；

第九步：用萬用表測量加熱絲電阻值和熱電偶是否正常，可對比原廠的出廠報告；

第十步：用5mm內六角扳手順時針均勻擰緊所有螺絲；

第十一步：接水路并加壓確保無泄漏；

第十二步：接電源線和熱偶線。

腔體上拆蒸發源步驟

第一步：準備以下材料和工具

① CF35盲板，1個

② 銅墊圈，1個

③ 蒸發源支架，1個

工具：

① 無塵手套

② 無水酒精

③ 超凈布

④ 無塵服

⑤ 5mm內六角扳手

第二步：安全檢查，確保腔體已經停止抽真空，并采用高純氮恢復到大氣壓，確認腔體內的材料無毒無害；

第三步：穿戴無塵服、無塵手套，腔體破真空后，移除電饋通電纜（電源線和熱偶線），關閉水冷，移除水冷管，用壓縮空氣吹干凈殘余冷卻水避免污染工作場地；

第四步：檢查磁耦合旋轉驅動刻度，確認在0度并把鎖緊螺絲鎖緊（即擋板處于關閉位置），確保不會與腔體內壁發生干涉；

第五步：用內六角扳手均勻的預松開法蘭通孔內螺絲；

第六步：一只手托住蒸發源，另外一只手拆卸螺絲，直至螺絲全部拆卸完畢；

第七步：小心取出蒸發源，避免與腔體的內壁及法蘭刀口碰撞，將蒸發源正立于架子上；

第八步：使用CF35盲板封堵安裝法蘭。（如果短時間內將蒸發源裝完料后裝回腔體，那么只需用潔凈的鋁箔紙封堵安裝法蘭刀口）

*如果蒸發源和擋板是分離安裝的，建議檢查擋板。隨著系統使用擋板上會積累原材料，建議定期清理污染系統或者蒸發源。