該系統由快速進樣腔、解理腔、低溫樣品架、解理樣品架及光學顯微鏡組成。
提供豐富的停放工位和100K-470K的變溫范圍，實現對薄層材料的解理和轉移。
| ● 可實現超高真空環境解理，真空度優于5x10-10mbar | ● 配備液氮制冷，最低溫小于120K | ● 操作便捷，借助機械手可實現二維材料解理與轉移 |
| ● 解理面原子層級的平整度，解理得到少層材料 | ● 標準的Flag-type樣品托，兼容性好，可以無縫互聯ARPES，STM，XPS等表面分析設備 |
| 光學顯微鏡 | |||
| 進口光學鏡頭 | 進口CCD相機 | 電動變焦 | 同軸光照明 |
| 機械手 | |||
| 便捷傳樣與解理 | |||
| 解理腔 | |||
| 超高真空腔體55316不銹鋼材質 | 符合超高真空標準的法蘭口 | 高強座鋁合金支架，大滾輪，便于移動 | 加熱處理與溫度控制 |
| 解理樣品架 | 電動升降 | X、Y、Z、R多軸壓電位移臺 | |
| 低溫樣品架 | |||
| 手動升降、旋轉 | 溫度范圍:100K-300K | 同時停放至多42個樣品托 | |
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