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手套箱與XPS互聯

通過中轉腔將手套箱與XPS互聯,可確保樣品在處理(手套箱中)、運輸(中轉腔中)和量測(XPS中)的過程中不暴露大氣。

規格說明
  箱體材料SUS304不銹鋼  真空度:<5E-8 mbar(充分烘烤后)  尺寸:1200×1000×900mm(可定制)
  選配:快門,用于快速存取樣品  工位:單工位及以上,可依據需求更改  配備:線性傳樣桿和樣品停放臺,方便樣品的傳輸和停放
  配備:1個大過渡艙,1個小過渡艙  漏率:<5E-10 Pa.m3/s  漏率:<0.02% vol/h




           

實物圖

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標簽: 超高真空MBE
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