| ● 適用于10-11 mbar超高真空環境 | ● 磁耦合驅動 | ● 烘烤溫度：150°C |
| ● 材質：超高真空兼容材料 | ● 扭矩大 | ● 可以任意方向安裝 |
| ● 可鎖定位置 | ● 可接受定制 |
| 品名 | 磁耦合傳樣桿（MTA） | ||||||
| 安裝法蘭 | CF16 | CF35 | |||||
| 法蘭 尺寸 | 毫米 | 34 | 70 | ||||
| 英寸 | 1.33 | 2.75 | |||||
| 徑向脫耦扭矩 | 0.8N·m | 4.3N·m | |||||
| 軸向脫耦力 | 40N | 80N | |||||
| B行程 (mm) | 150 | 250 | 350 | 450 | 600 | 900 | |
| A總長 (mm) | 280 | 380 | 480 | 754 | 904 | 1204 | |
| 重量 (kg) | 0.5 | 0.6 | 0.7 | 2.9 | 3.2 | 3.7 | |
| 型號 | MTA16L150 | MTA16L250 | MTA16L350 | MTA35L450 | MTA35L600 | MTA35L900 | |
| XY驅動 | 3043100001 | 3043100002 | 3043100003 | 3043000001 | 3043000002 | 3043000003 | |
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