上海科技大學(xué)超高真空TPD系統(tǒng)交付使用

2020年5月，由費勉儀器設(shè)計并搭建完成的超高真空程序升溫脫附（TPD）系統(tǒng)在上海科技大學(xué)物質(zhì)學(xué)院完成安裝，并移交用戶使用。

▲TPD系統(tǒng)現(xiàn)場照片

TPD測試將樣品預(yù)先吸附特種氣體分子，通過程序加熱升溫，觀察吸附氣體解吸變化過程進(jìn)行分析，在能源催化材料的研究中起著非常重要的作用，系統(tǒng)包含超高真空系統(tǒng)，精確快速控溫模塊及質(zhì)譜儀等關(guān)鍵模塊。

費勉儀器這套超高真空TPD系統(tǒng)，主要由快速進(jìn)樣系統(tǒng)、樣品制備系統(tǒng)、超高真空分析系統(tǒng)三部分組成。

01 快速進(jìn)樣系統(tǒng)

樣品制備系統(tǒng)配備有費勉自主研發(fā)的高精度、高強度四軸高溫樣品架，可以將樣品穩(wěn)定加熱至1500K，并搭配離子源、低能電子衍射儀、QCM等，實現(xiàn)表面處理、材料生長監(jiān)測等多種功能；

03 超高真空分析系統(tǒng)

超高真空分析系統(tǒng)則配備了高精度、高強度的四軸變溫樣品架，工作溫度區(qū)間廣，可從90K到1500K，并且支持軟件控制快速線性升降溫，同時，該分析腔體還搭配有質(zhì)譜儀、五路洗氣系統(tǒng)等，可以進(jìn)行精確分析。

▲TPD樣品臺

▲TPD測試線性控溫曲線

相較常規(guī)TPD系統(tǒng)樣品制備與分析設(shè)備的互相獨立，此套超高真空TPD系統(tǒng)可以實現(xiàn)樣品的快速切換，避免了樣品輸運環(huán)節(jié)中的不確定因素，有效提高了實驗效率，得到更為精確的結(jié)果。