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材料沉積表

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Au

時間:2022.09.27來源 :點擊次數:1209次

材料 符號(原子序數)
熔點(℃)
密度(g/cm3)
Z-Ratio
飽和蒸氣壓溫度(℃)
建議蒸發源*
建議坩堝*
注意事項
E-8Torr
E-6 Torr
E-4Torr
Au(79)
1064 19.32 0.381 807 947
1132
E38MT/E63MT/E38HT
Al2O3/PBN


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