掃描探針顯微鏡（Scanning Probe Microscope，SPM）是一種能夠在納米尺度上研究樣品表面形貌和物理化學性質的高分辨率顯微鏡。它通過探針與樣品表面相互作用，檢測兩者之間的物理量變化，從而實現成像。其廣泛應用于物理學、化學、材料科學、生物學和納米技術等領域。例如：研究材料的表面形貌、納米結構和原子排列；研究材料的電學、磁學、力學性質；應用于納米加工與操控，實現對器件表面的原子級別操控和成像比如原子移動、表面修飾等。掃描探針顯微鏡憑借其高分辨率和多樣化的成像模式，已成為納米科學研究中不可或缺的工具。
| ● 模塊化設計 | ● 便捷的表面處理 |
| ● 可靠的樣品轉移 | ● 低液氮、液氦消耗 |
| ● 1K pot | ● 磁場 | ● 定制控制系統 |
| ● 音叉探針 | ● 光學通道 | ● 可擴展光學通道 |
| ● 快速降溫與變溫測量 | ● 模塊化安裝 | ● 兼容flag樣品托及4電極樣品托 |
| ● 氦氣減振無液氦制冷機，有效隔震，降低運行成本 |
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