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為了實(shí)現(xiàn)在4英寸晶圓上外延生長(zhǎng)材料，費(fèi)勉儀器推出了MBE-800分子束外延系統(tǒng)。標(biāo)準(zhǔn)版系統(tǒng)采用雙溫區(qū)襯底加熱器，并包含12個(gè)蒸發(fā)源端口，可實(shí)現(xiàn)復(fù)雜結(jié)構(gòu)薄膜的精確逐層生長(zhǎng)。MBE-800的定制版本也涵蓋了特定的生產(chǎn)需求，例如超高真空離子輔助鍍膜系統(tǒng)。
MBE-800系統(tǒng)具有高可靠性、多功能性和緊湊性，可兼容4英寸以下襯底外延生長(zhǎng)。該系統(tǒng)不僅可以作為應(yīng)用研發(fā)設(shè)備，同時(shí)也適用于準(zhǔn)批量生產(chǎn)應(yīng)用。| MBE-800 手動(dòng)傳樣系統(tǒng) | |
 | MBE-800 手動(dòng)傳樣系統(tǒng)，采用磁耦合傳樣桿，可進(jìn)行4英寸樣品傳遞。機(jī)械手行程可達(dá)1200mm，滿(mǎn)足襯底在生長(zhǎng)腔室和預(yù)處理腔室之間傳遞。同時(shí)機(jī)械手可在垂直方向提供25mm的移動(dòng)空間，滿(mǎn)足襯底取放操作。該傳樣系統(tǒng)無(wú)需使用二次運(yùn)動(dòng)工具，在降低成本的同時(shí)極大的簡(jiǎn)化了襯底傳輸步驟。 |
| MBE-800 全自動(dòng)傳樣系統(tǒng) | |
 | MBE-800 Cluster 全自動(dòng)傳樣系統(tǒng)，將不同腔體集成在圓形傳樣腔上，并搭配360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)的機(jī)械臂組件，最大行程1350mm，可以實(shí)現(xiàn)襯底在不同腔室之間的真空傳遞。通過(guò)高扭矩磁耦合驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂旋轉(zhuǎn)，并由安裝在機(jī)械臂前端的定位基片實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)定位。機(jī)械臂通過(guò)線(xiàn)性驅(qū)動(dòng)可以在垂直方向提供0~25mm自由移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)襯底的取放操作。 |
根據(jù)客戶(hù)需求，費(fèi)勉儀器提供不同型號(hào)的熱蒸發(fā)源、裂解源、電子束蒸發(fā)源和氣體源。系統(tǒng)可安裝RHEED、QCM、BFM、RGA、OFM等，實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜生長(zhǎng)的原位監(jiān)控。費(fèi)勉儀器提供MBE操作軟件，包括生長(zhǎng)工藝程序編寫(xiě)、自動(dòng)生長(zhǎng)控制和不間斷數(shù)據(jù)記錄三大功能，可以執(zhí)行生長(zhǎng)工藝程序控制擋板運(yùn)動(dòng)，源爐溫度，襯底溫度，襯底旋轉(zhuǎn)速度和方向?？刂栖浖囟惹€(xiàn)，真空壓力曲線(xiàn)，電源輸出功率曲線(xiàn)，各系統(tǒng)間傳樣等工藝需求功能，保證生長(zhǎng)過(guò)程的可重復(fù)性和安全性。
| 配置 | MBE-800 | |
| 生長(zhǎng)室 | 腔體尺寸 | 650mm I.D. |
| 極限真空 | <2×10-10mbar | |
| 液氮冷屏 | 標(biāo)配 | |
| 冷屏通液氮后極限真空 | <5×10-11mbar | |
| 襯底加熱器最高溫度 | 1000℃ | |
| 襯底加熱器溫度穩(wěn)定性 | PID控制，±0.5℃ | |
| 襯底最大尺寸 | 4inch | |
| 襯底旋轉(zhuǎn) | 60RPM | |
| 蒸發(fā)源配置 | CF63×2／CF100×7 / CF125×3 | |
| 獨(dú)立的蒸發(fā)源擋板 | 電機(jī)驅(qū)動(dòng) | |
| 離子規(guī) | 1×10-3~2×10-11mbar | |
| 烘烤溫度 | 200℃ | |
| 預(yù)處理 | 極限真空 | <2×10-10mbar |
| 腔體水冷夾層 | 選配 | |
| 預(yù)處理加熱器最高溫度 | 450℃ | |
| 離子規(guī) | 1×10-3~2×10-11mbar | |
| 進(jìn)樣室 | 極限真空 | <1×10-8mbar |
| 腔體水冷夾層 | 選配 | |
| 樣品停放臺(tái) | 4~10個(gè) | |
| 紅外烘烤燈 | 選配 | |
| 全量程規(guī) | 1×103~5×10-9mbar | |
| 傳樣室 | 極限真空 | <5×10-10mbar |
| 傳樣時(shí)壓力 | <1×10-9mbar | |
| 手動(dòng)傳樣最大行程 | 1200mm | |
| 自動(dòng)傳樣最大行程 | 1350mm | |
| 離子規(guī) | 1×10-3~2×10-11mbar | |
| 存儲(chǔ)室 | 樣品停放臺(tái) | 10個(gè)（選配） |
| 系統(tǒng)控制 | 觸摸屏操作面板 | 加配 |
| 生長(zhǎng)工藝程序編寫(xiě) | 加配 | |
| 自動(dòng)生長(zhǎng)控制 | 加配 | |
| 不間斷數(shù)據(jù)記錄 | 加配 | |
| 報(bào)警保護(hù)功能 | 加配 | |
| 聯(lián)鎖功能 | 加配 | |
| 選配 | CCD | 選配 |
| 手套箱 | 選配 | |
| 磷回收系統(tǒng) | 選配 | |
| 襯底紅外測(cè)溫系統(tǒng) | 選配 | |
| 真空照明系統(tǒng) | 選配 | |
| SMS | 選配 |
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