費(fèi)勉儀器推出了MBE-1000 Cluster分子束外延系統(tǒng)，可進(jìn)行5×3''，4×4''，單片6'', 單片8''襯底外延生長(zhǎng)。該系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)傳樣和生長(zhǎng)，非常適用于器件的批量生產(chǎn)。生長(zhǎng)室采用雙溫區(qū)襯底加熱，實(shí)現(xiàn)生長(zhǎng)溫度均勻可控。MBE-1000系統(tǒng)可定制10個(gè)蒸發(fā)源端口或12個(gè)蒸發(fā)源端口。

MBE-1000 Cluster全自動(dòng)傳樣系統(tǒng)將不同腔體集成在圓形傳樣腔上，采用360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)的重載機(jī)械臂組件可進(jìn)行10英寸襯底托盤在進(jìn)樣室，預(yù)處理室，生長(zhǎng)室和存儲(chǔ)腔之間傳遞。

根據(jù)客戶需求，費(fèi)勉儀器提供不同型號(hào)的熱蒸發(fā)源、裂解源、電子束蒸發(fā)源和氣體源。系統(tǒng)可安裝RHEED、BFM、RGA等，實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜生長(zhǎng)的原位監(jiān)控。系統(tǒng)可以搭配費(fèi)勉儀器的MBE束流監(jiān)測(cè)光譜系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)可重復(fù)性和批量性的完全自動(dòng)化生長(zhǎng)。費(fèi)勉儀器提供MBE操作軟件，包括生長(zhǎng)工藝程序編寫、自動(dòng)生長(zhǎng)控制和不間斷數(shù)據(jù)記錄三大功能，可以執(zhí)行生長(zhǎng)工藝程序控制擋板運(yùn)動(dòng)，源爐溫度，襯底溫度，襯底旋轉(zhuǎn)速度和方向。控制軟件包括溫度曲線，真空壓力曲線，電源輸出功率曲線，各系統(tǒng)間傳樣等工藝需求功能。